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Untersuchungen zum Reaktionsverhalten kristalliner Siliziumoberflächen in HF-basierten Ätzlösungen
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | |
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Hochschulschriftenvermerk: | Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 2009 |
Format: | Buch Hochschulschrift |
Sprache: | Deutsch |
veröffentlicht: |
2009
|
Schlagwörter: | |
Quelle: | Verbunddaten SWB |
Fachgebiet: |
DK 546.28 DK 621.794.4 DK 539.211 DK 378.245 |
Signatur: | 09.4931 4. |
Weitere Ausgaben
Online-Ausg.: | Patzig-Klein, Sebastian, 1980 - , Untersuchungen zum Reaktionsverhalten kristalliner Siliziumoberflächen in HF-basierten Ätzlösungen, 2009, Online-Ressource |
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