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Untersuchungen zum Reaktionsverhalten kristalliner Siliziumoberflächen in HF-basierten Ätzlösungen

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Patzig-Klein, Sebastian (VerfasserIn)
Hochschulschriftenvermerk: Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 2009
Format: Buch Hochschulschrift
Sprache: Deutsch
veröffentlicht:
2009
Schlagwörter:
Quelle: Verbunddaten SWB
Fachgebiet: DK 546.28
DK 621.794.4
DK 539.211
DK 378.245
Signatur: 09.4931 4.