Chemical Vapor Deposition of Refractory Metals and Ceramics, 2 Symposium held December 4 - 6, 1991, Boston, Massachusetts, U.S.A

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Ausgabe:	1. paperb. ed.
Format:	Buch Konferenzbericht
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	Cambridge [u.a.] Cambridge Univ. Pr. 2012
Gesamtaufnahme:	Chemical Vapor Deposition of Refractory Metals and Ceramics; 2 Materials Research Society: Materials Research Society symposium proceedings ; 250
Schlagwörter:	Konferenzschrift > 1991 > Boston, Mass. Metallischer Werkstoff > CVD-Verfahren Keramischer Werkstoff > CVD-Verfahren
Quelle:	Verbunddaten SWB
Fachgebiet:	DK 621.793.1 DK 669.018 DK 666.76/.77 DK 541.183 DK 061.3
Signatur:	14.4102 8.
Standort:	14.4102 8.
ISBN:	9781107409743

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