Methoden zur Präparation und Charakterisierung von Time Dependent Haze auf Siliziumoberflächen

Bibliographic Details
Authors and Corporations: Münter, Norman (Author)
Type of Resource: E-Book Thesis
Language:German
published:
2002
Subjects:
Hochschulschrift
Wafer > Silicium > Halbleiteroberfläche > Rauigkeit > Kontamination
Source:Verbunddaten SWB
Subject: DK 546.28
DK 537.311.322
DK 539.211
DK 621.315.59
DK 620.179.11
DK 378.245
Call number:02.5438 8.

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