On the stability of metastable phases in nanoscaled TiN/(Al,Ti)N multilayers

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Bibliographic Details
Authors and Corporations:	Ratayski, Ulrike (Author), Technische Universität Bergakademie Freiberg (Degree granting institution)
Edition:	1. Auflage
Dissertation Note:	Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2018
Type of Resource:	Book Thesis
Language:	English
published:	Freiberg Technische Universität Bergakademie [2019]
Series:	Freiberger Forschungshefte / B ; 381
Subjects:	Hochschulschrift Titannitrid > Aluminiumnitrid > Nanopartikel > Mehrschichtsystem > Metastabile Phase > Temperaturbeständigkeit
Source:	Verbunddaten SWB
Subject:	DK 669.295 DK 669.71 DK 669.017 DK 621.793/.795 DK 539.23 DK 536.7 DK 620.18 DK 543.42 DK 378.245 FGAUT
Call number:	19.601 8.
ISBN:	9783860125984