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Beiträge zum Verständnis des sauren nasschemischen Ätzens von Silicium: das System HF-HNO3-H2SO4/H2O

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Lippold, Marcus (VerfasserIn)
Hochschulschriftenvermerk: Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 2014
Format: E-Book Hochschulschrift
Sprache: Deutsch
veröffentlicht:
2014
Schlagwörter:
Quelle: Verbunddaten SWB
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Fachgebiet: DK 546.28
DK 621.794.4
DK 539.211
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Signatur: 14.3271 pdf