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Einfluss des Beschichtungswinkels auf die Phasenbildung beim reaktiven Sputtern

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Bibliographic Details
Authors and Corporations: Haus, Lea (Author), Rafaja, David (Degree supervisor), Mitterer, Christian (Degree supervisor), Technische Universität Bergakademie Freiberg (Degree granting institution)
Other Authors: Rafaja, David 1965- [Degree supervisor] • Mitterer, Christian [Degree supervisor]
Edition: 1. Auflage
Dissertation Note: Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2023
Type of Resource: Book Thesis
Language: German
published:
Series: Freiberger Forschungshefte / B ; 417. Werkstoffwissenschaft
Subjects:
Source: Verbunddaten SWB
Subject: FGAUT
DK 620.22
DK 621.793
DK 537.534
DK 536.76
DK 553.463
Call number: 24.1645 8.
ISBN: 9783860127216
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