Einfluss des Beschichtungswinkels auf die Phasenbildung beim reaktiven Sputtern

Saved in:

Authors and Corporations:

Haus, Lea (Author), Rafaja, David (Degree supervisor), Mitterer, Christian (Degree supervisor), Technische Universität Bergakademie Freiberg (Degree granting institution)

Other Authors:

Rafaja, David 1965- [Degree supervisor] • Mitterer, Christian [Degree supervisor]

Edition:

1. Auflage

Dissertation Note:

Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2023

Type of Resource:

Book Thesis

Language:

German

published:

Freiberg Technische Universität Bergakademie Freiberg 2024

Series:

Subjects:

Hochschulschrift

Sputtern > Beschichtung > Phasenumwandlung > Wolframcarbide

Source:

Verbunddaten SWB

Subject:

FGAUT
DK 620.22
DK 621.793
DK 537.534
DK 536.76
DK 553.463

Call number:

24.1645 8.

ISBN:

9783860127216

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