Advances in rapid thermal and integrated processing: [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing, Acquafredda di Marate...

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Personen und Körperschaften:	Roozeboom, Fred (HerausgeberIn), NATO Advanced Study Institute on Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing ; (Acquafredda di Maratea) : 1995.07.03-14 (VerfasserIn), Advanced Study Institute on Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing (Sonstige)
Weitere Verfasser:	Roozeboom, Fred [HerausgeberIn]
Format:	Buch Konferenzbericht
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	Dordrecht [u.a.] Kluwer Academic c1996
Gesamtaufnahme:	NATO: NATO ASI series / E ; 318
Schlagwörter:	Semiconductors > Heat treatment > Congresses Rapid thermal processing > Congresses Konferenzschrift Konferenzschrift > 1995 > Maratea Halbleiter > Wärmebehandlung Halbleiter > Rapid thermal processing
Quelle:	Verbunddaten SWB
Fachgebiet:	DK 621.315.59 DK 621.78
Signatur:	97.4155 8.
Standort:	97.4155 8.
ISBN:	0792340116