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Erzeugung von SiO2-Beschichtungen auf Siliziumoberflächen durch Sol-Gel-Prozesse zur Modifizierung der elektrischen Eigenschaften
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | |
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Hochschulschriftenvermerk: | Zugl.: Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss, 2001 |
Format: | Buch Hochschulschrift |
Sprache: | Deutsch |
veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2002
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Gesamtaufnahme: |
Berichte aus der Halbleitertechnik
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Schlagwörter: | |
Quelle: | Verbunddaten SWB |
Fachgebiet: |
DK 378.245 DK 621.315.59 DK 537.311.322 DK 539.211 DK 66.022.37 DK 537.226 DK 661.8.22 DK 621.793/.795 DK 546.28 |
Signatur: | 02.1101 8. |
ISBN: |
382659990X
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Hauptbibliothek
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