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Erzeugung von SiO2-Beschichtungen auf Siliziumoberflächen durch Sol-Gel-Prozesse zur Modifizierung der elektrischen Eigenschaften

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Koriath, Jörg (VerfasserIn)
Hochschulschriftenvermerk: Zugl.: Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss, 2001
Format: Buch Hochschulschrift
Sprache: Deutsch
veröffentlicht:
Aachen Shaker 2002
Gesamtaufnahme: Berichte aus der Halbleitertechnik
Schlagwörter:
Quelle: Verbunddaten SWB
Fachgebiet: DK 378.245
DK 621.315.59
DK 537.311.322
DK 539.211
DK 66.022.37
DK 537.226
DK 661.8.22
DK 621.793/.795
DK 546.28
Signatur: 02.1101 8.
ISBN: 382659990X