Kristallisation und Technik: Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik ; Vorträge zum 51. Berg- und Hüttenmännischen Tag 2000

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Authors and Corporations:

Möller, Hans Joachim (Editor), Freiberger Forschungsforum (Other), Berg- und Hüttenmännischer Tag (Other)

Other Authors:

Möller, Hans Joachim 1946- [Editor]

Edition:

1. Aufl

Type of Resource:

Book Conference Proceedings

Language:

German

published:

Freiberg TU Bergakad. 2002

Series:

Subjects:

Konferenzschrift

Verfahrenstechnik > Silicium > Wafer > Halbleitertechnologie

Contents/pieces:

Source:

Verbunddaten SWB

Subject:

DK 621.315.592
DK 546.28
DK 548.3
DK 548.5
DK 621.383
DK 620.1

Call number:

02.1848 8.

ISBN:

3860121731

Parent items:
Freiberger Forschungshefte / B