Kristallisation und Technik: Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik ; Vorträge zum 51. Berg- und Hüttenmännischen Tag 2000

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Authors and Corporations:	Möller, Hans-Joachim (Editor), Freiberger Forschungsforum (Other), Berg- und Hüttenmännischer Tag (Other)
Other Authors:	Möller, Hans-Joachim [Editor]
Edition:	1. Aufl
Type of Resource:	Book Conference Proceedings
Language:	German
published:	Freiberg TU Bergakad. 2002
Series:	Freiberger Forschungshefte / B ; 321
Subjects:	Konferenzschrift Verfahrenstechnik > Silicium > Wafer > Halbleitertechnologie
Contents/pieces:	20 records
Source:	Verbunddaten SWB
Subject:	DK 621.315.592 DK 546.28 DK 548.3 DK 548.5 DK 621.383 DK 620.1
Call number:	02.1848 8.
ISBN:	3860121731

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