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Detailed investigations of the sheath dynamics and elementary processes in capacitively coupled RF plasmas
Gespeichert in:
| Personen und Körperschaften: | |
|---|---|
| Hochschulschriftenvermerk: | Greifswald, Univ., Diss., 2009 |
| Format: | E-Book Hochschulschrift |
| Sprache: | Englisch |
| veröffentlicht: |
2009
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| Schlagwörter: | |
| Quelle: | Verbunddaten SWB Lizenzfreie Online-Ressourcen |