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Ionenstrahlgestützte Schichtabscheidung von Ag und Ge - Zusammenhang zwischen den Eigenschaften des Ionenstrahls, der schichtbildenden Teilchen und der abgeschiedenen Schichten
Gespeichert in:
| Personen und Körperschaften: | , , |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | Rauschenbach, Bernd [] • Meichsner, Jürgen [] |
| Hochschulschriftenvermerk: | Dissertation, Universität Leipzig, 2014 |
| Format: | E-Book Hochschulschrift |
| Sprache: | Deutsch |
| veröffentlicht: |
Online-Ausg..
2015
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| Schlagwörter: | |
| Quelle: | Qucosa |