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Realization of ion mass and energy selected hyperthermal ion-beam assisted deposition of thin, epitaxial nitride films: characterization and application
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Personen und Körperschaften: | |
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Hochschulschriftenvermerk: | Dissertation, Universität Leipzig, 2018 |
Format: | E-Book Hochschulschrift |
Sprache: | Deutsch |
veröffentlicht: |
Online-Ausg..
2019
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Schlagwörter: | |
Quelle: | Qucosa |