Realization of ion mass and energy selected hyperthermal ion-beam assisted deposition of thin, epitaxial nitride films: characterization and application

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Personen und Körperschaften:	Schumacher, Philipp
Hochschulschriftenvermerk:	Dissertation, Universität Leipzig, 2018
Format:	E-Book Hochschulschrift
Sprache:	Deutsch
veröffentlicht:	Online-Ausg.. 2019
Schlagwörter:	Molecular Beam Epitaxy Thin Film Deposition Ion Beam Assisted Deposition Hochschulschrift Molecular Beam Epitaxy Thin Film Deposition Ion Beam Assisted Deposition
Quelle:	Qucosa