Design and performance of a piezoelectric actuated precise rotary positioner

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Review of Scientific Instruments
Personen und Körperschaften:	Wang, Y. C., Chang, S. H.
In:	Review of Scientific Instruments, 77, 2006, 10
Format:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	AIP Publishing
Schlagwörter:	Instrumentation