The problem of coefficients identification in the mathematical model of the ion implantation diffusion process

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Inverse Problems in Engineering
Personen und Körperschaften:	Shatalov, Yu. S., Lukashuk, S. Yu., Rikachev, Yu. Yu.
In:	Inverse Problems in Engineering, 7, 1999, 3, S. 267-290
Format:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	Informa UK Limited
Schlagwörter:	Applied Mathematics Engineering (miscellaneous)