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A novel solution to improve saddle-shape warpage in 3D NAND flash memory
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Semiconductor Science and Technology |
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Semiconductor Science and Technology, 35, 2020, 4, S. 045031 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |