Eintrag weiter verarbeiten
Surface Grating Fabrication by Inductively Coupled Plasma Dry Etching for InP-Based Photonic Integrated Circuits
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | physica status solidi (a) |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , , , , , , |
In: | physica status solidi (a), 2018 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Wiley
|
Schlagwörter: |
ISSN: |
1862-6300
|
---|---|
DOI: | 10.1002/pssa.201800406 |