Determination of arsenic distribution across SiO2/Si interfaces with secondary ion mass spectrometry, using Ar+ bombardment and the internal indicator method

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Surface and Interface Analysis
Personen und Körperschaften:	Michiels, F., Butaye, L., Adams, F., Simons, D.
In:	Surface and Interface Analysis, 18, 1992, 7, S. 539-544
Format:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	Wiley
Schlagwörter:	Materials Chemistry Surfaces, Coatings and Films Surfaces and Interfaces Condensed Matter Physics General Chemistry