Effect of the carbon ion energy on the microstructure of ta-C/Cr multilayers

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Surface and Coatings Technology
Personen und Körperschaften:	Ratayski, Ulrike, Rafaja, David, Klemm, Volker, Mühle, Uwe, Leonhardt, Michael, Scheibe, Hans-Joachim
In:	Surface and Coatings Technology, 206, 2011, 7, S. 1753-1758
Format:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	Elsevier BV
Schlagwörter:	Materials Chemistry Surfaces, Coatings and Films Surfaces and Interfaces Condensed Matter Physics General Chemistry