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Elimination of Process‐Induced Stacking Faults by Preoxidation Gettering of Si Wafers: II . Process

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: Journal of The Electrochemical Society
Personen und Körperschaften: Petroff, P. M., Rozgonyi, G. A., Sheng, T. T.
In: Journal of The Electrochemical Society, 123, 1976, 4, S. 565-570
Format: E-Article
Sprache: Unbestimmt
veröffentlicht:
The Electrochemical Society
Schlagwörter: