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Impact of UV Nanosecond Laser Annealing on Composition and Strain of Undoped Si0.8Ge0.2 Epitaxial Layers
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | ECS Journal of Solid State Science and Technology |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , , , , , |
In: | ECS Journal of Solid State Science and Technology, 8, 2019, 3, S. P202-P208 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
The Electrochemical Society
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Schlagwörter: |