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Effect of H2 Flow Rate on Microstructure and Optical Property of Nanocrystalline SiC Films : Effect of H2 Flow Rate on Microstructure and Optical Property of Nanocrystalline SiC Fi...
Gespeichert in:
| Zeitschriftentitel: | Journal of Inorganic Materials |
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| Personen und Körperschaften: | |
| In: | Journal of Inorganic Materials, 23, 2008, 3, S. 540-544 |
| Format: | E-Article |
| Sprache: | Englisch |
| veröffentlicht: |
China Science Publishing & Media Ltd.
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| Schlagwörter: |