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Image-Noise Effect on Discrete Power Spectrum of Line-Edge and Line-Width Roughness

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: Japanese Journal of Applied Physics
Personen und Körperschaften: Hiraiwa, Atsushi, Nishida, Akio
In: Japanese Journal of Applied Physics, 50, 2011, 1R, S. 016602
Format: E-Article
Sprache: Unbestimmt
veröffentlicht:
IOP Publishing
Schlagwörter: